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      产品详情
      • 产品名称:高效柜式微波等离子系统

      • 产品型号:MWD 70
      • 产品厂商:中科光智
      • 产品文档:
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      简单介绍:
      结构型设计 适用于批量生产 具有专业的PLC 控制系统和windows控制 可选微波源顶装或侧装 可选基片盘旋转、水冷、升降功能
      详情介绍:


      简单介绍

      产品简介


      全功能型立柜系统:适用于批量生产,PLC 图形化触控操作系统

      配置选项

      ?真空系统                                ?额外工艺气路
      ?物料工件旋转台                      ?清洗搁架
      ?顶/侧装微波源                       ?软启动和慢速充气

      ?法拉第网                                ?推拉门/铰链门

      产品特点

      ?无损伤等离子清洗                  ?清洗温度低

      ?无电极溅射污染                      ?可清洗细小孔洞和缝隙

      ?易于操作的图形化界面

      技术参数

      外形尺寸 :             W860 x H1860 x D950 mm 

      腔体内部尺寸:       W425 x H365 x D465mm

      微波功率:              2.45 GHz,100-1000W 可调

      工艺气路:              标准2 路,包括质量流量计和控制电磁阀等

      真空接口:            DN40 KF

      电源:                    380V, 50 / 60 Hz  4.3KW 含真空泵

      控制单元:           触摸屏PLC控制

      真空规:                Pirani真空计或电容式薄膜压力规

      主要应用:          材料表面有机污染物去除、表面活性增强及氧化物还原


      产品详情














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